RGK系列氣氛管式爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的擴(kuò)散、氧化工藝；也可應(yīng)用于玻璃對(duì)金屬的封裝焊接石英制品的熱處理、LED發(fā)光粉體材料的煅燒等工藝。

     采用高純石英管作為內(nèi)爐膛，具有良好的潔凈度；耐火、保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)質(zhì)量輕、能耗低；加熱元件采用真空成型FEC陶瓷纖維加熱器；溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性，溫度控制精度高

     最高溫度可達(dá)1400度，其他參數(shù)按照用戶提出系列要求來設(shè)計(jì)。