真空管式爐主要應用于半導體材料的擴散、氧化工藝；也可應用于玻璃對金屬的封裝焊接石英制品的熱處理、LED發(fā)光粉體材料的煅燒等工藝。

     采用高純石英管作為內爐膛，具有良好的潔凈度；耐火、保溫材料全部采用先進的輕質纖維制品，整機質量輕、能耗低；加熱元件采用真空成型FEC陶瓷纖維加熱器；溫控系統(tǒng)采用進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復性，溫度控制精度高

     最高溫度可達1700度，其他參數按照用戶提出系列要求來設計。